SIC清洗機就是碳化硅，目前市場的主流材料。既然如此，大家安排選購的時候，也想要明白一個重要問題，就是SiC清洗機到底可以分成多少種類？

目前資料顯示，主要可以根據處理方式、自動化程度、適用規(guī)格以及結構設計等多個方面進行劃分。

按處理方式分類

單片清洗設備：這種設備可以針對單個晶圓的清洗進行條件優(yōu)化，適用于需要精細清洗或特殊處理的場合。

槽式清洗機：用于批量處理晶圓，適合大規(guī)模生產，能夠同時清洗多個晶圓，提高生產效率。

按自動化程度分類

全自動SiC清洗機：具備全自動控制功能，通常配備高速機械手，能夠實現自動上下料、自動配液/補液等功能，大大提高了工作效率和操作的便捷性。

半自動SiC清洗機：部分操作需要人工干預，但仍然具備較高的自動化程度，適合中等規(guī)模的生產線使用。

按適用規(guī)格分類

兼容多種規(guī)格的SiC清洗機：可兼容不同尺寸的SiC襯底片進行清洗，如4寸、6寸、8寸等不同尺寸的晶圓。

特定規(guī)格的SiC清洗機：針對某一特定尺寸的SiC襯底片進行設計和優(yōu)化，以滿足特定生產線的需求。

按結構設計分類

緊湊型SiC清洗機：設備外觀大氣、結構緊湊，后部設置排風口等設計，有利于保證設備內部環(huán)境的穩(wěn)定和清潔。

模塊化設計SiC清洗機：軟件客制化、模塊化設計，工序可靈活編輯、組合選配，滿足不同客戶的生產需要。